上世紀80年代初☁•，在研製高速鋼工具氧氮共滲技術時 ☁•，開始用低真空原理製造裝置和試驗配套工藝(即低壓氧氮共滲技術)☁•，工件在設定的低真空上限下限範圍內自行迴圈加熱☁•，爐氣在設定的時間週期內自行反覆吐故納新☁•，解決了工件在滲氮▩·、滲碳過程的密裝生產▩·、爐氣老化▩·、滲層均勻性等難題；根據適當增加爐壓可增加N▩·、C原子滲速☁•，在低真空變壓的基礎上增加正壓變壓的工藝過程•↟₪✘◕。這種先在低真空範圍變壓加熱☁•，接著進行正壓變壓加熱的工藝及其裝置稱為低真空變壓熱處理技術•↟₪✘◕。爐膛在低真空至正壓大範圍變壓加熱☁•，以中性氣體迅速置換爐膛中的空氣▩·、水分等氧化物質☁•，而後充以工藝規定的滲劑☁•，使工件在設定的氣氛中加熱☁•，加熱後如果在爐內冷卻即可實現無氧化▩·、無脫碳淬火；如果加熱後在爐外冷卻☁•，則工件從爐中取出時同空氣接觸☁•，產生少量氧化而實現少無氧化加熱•↟₪✘◕。

真空氣氛爐的特點是什麼?

1▩·、爐體採用雙層爐殼結構☁•，爐體採用10mm鋼板加 工而成☁•，安全可靠☁•， 符合國家標準多種安全防護設計☁•，安全效能好•↟₪✘◕。

2▩·、爐門為側開方式☁•，從左往右爐門及爐頂由緊固螺絲固定☁•，爐門及爐頂配備迴圈水冷系統☁•，爐體上有進氣口▩·、出氣口▩·、抽真空口•↟₪✘◕。

3▩·、可以通氫氣▩·、氬氣▩·、氮氣等其他惰性氣體☁•，並能預抽真空☁•，真空度可以達到-0.1MPa☁•，氣氛壓力可以達到-0.1Mpa☁•，玻璃轉子流量計和進出口管道•↟₪✘◕。

4▩·、配備RS-485通訊介面☁•，資料管理軟體☁•，具有無紙記錄歷史資料和升溫曲線☁•，校正溫度偏離誤差的功能☁•，可以管理多臺裝置和遠端故障診斷分析•↟₪✘◕。

真空氣氛燒結爐廣泛用於陶瓷▩·、冶金▩·、電子▩·、玻璃▩·、化工▩·、機械▩·、耐火材料▩·、新材料開發▩·、特種材料▩·、建材等領域的生產及實驗•↟₪✘◕。